最新消息

機台名稱:DNS SCRUBBER SS-W60A-AR 
服務項目:Turnkey
機台外觀


機台出機 打包、裝箱


 

 

機台設備: TEL CLEAN TRACK MARK 8
服務項目: 設備買賣、設備翻修、機台改造、裝機、移機、零件買賣、零件保養及維修。
機台配置: 6"/ 8" Open Cassette Station
              6"/ 8" SMIF Cassette Station
              Panel: Plasma Display/ LCD Display
              Main Controller: FC-9801F/ FC-9821B
              Plate: CPL/ HP/ DHP/ ADH


晨楊科技擁有半導體業界經驗豐富之一流工程團隊，致力於 MARK 8 設備翻修服務擁有逾十年的經驗，並於設備翻修與零件維修均有豐碩的成果及聲譽；晨楊科技提供設備買賣、設備改裝、移機、零件維修、零件與耗材買賣之服務項目。

TEL Clean Track MarK 8 自動化光阻塗佈及顯影系統，主要功能為光阻塗佈的處理與圖形顯像的製程。我們依客戶需求改裝機台配置，安裝設定冷熱板及ADH，進行塗佈顯影設備之噴頭客製化改裝與程式編寫；提供Main Arm、LHP 及 DHP Overhaul 服務；此外，機台內零件均有額外提供販售及專人維修服務。

機台內部零件 - 

零件: Intelligen Mini, Mini Pump/ Entegris
服務項目: 二手良品、Overhaul

晨楊科技是業界少數有提供Intelligen Mini Overhaul 服務的公司，Intelligen Mini 是晨楊的主力商品，致力於提供專業的Overhaul服務和 Intelligen Mini 的二手良品販售。晨楊科技提供一站式的 Overhaul 服務，OH服務從檢修、維修、保養、拆組裝及測試，皆由我們專業的工程團隊進行處理。

Intelligen Mini 外觀 - 
                   
                                    


◆ Pump 拆卸
Pump 組裝與拆卸的環境均在 CLASS 1000 標準之無塵室進行。



◆ 零件清洗 
零件拆卸後，部分零件採RCE洗淨; 零件組裝前，均經異丙醇擦拭。



◆ 維修完畢
維修完畢後，以真空袋包裝。



零件保養天數：約30天
零件保養完成，均接受壓力測試及噴灑測試，測試標準參照原廠設定，並提供一年的保固服務。